실리콘 카바이드의 개발 역사
실리콘 카바이드 는 1891년 용융 다이아몬드 실험에서 미국인 애치슨이 우연히 발견한 일종의 카바이드입니다. 당시 다이아몬드 혼합물로 오인되었습니다. 따라서 에머리라는 이름이 붙었습니다. 1893년 애치슨이 나왔습니다. 일반적으로 애치슨로라고 알려진 실리콘 카바이드를 공업적으로 제련하는 방법은 지금까지 사용되어 왔으며, 저항로의 핵심으로 탄소질 재료를 사용하여 석영 SIO2와 탄소의 혼합물에 열을 가하여 실리콘 카바이드를 형성했습니다.
실리콘 카바이드에 대한 여러 가지 이벤트
1905년 운석에서 최초로 탄화규소가 발견되었습니다.
1907년에 최초의 실리콘 카바이드 결정 발광 다이오드가 탄생했습니다.
1955년, 이론과 기술 분야에서 큰 혁신이 이루어졌으며, LELY는 고품질 탄화의 확대를 제안했고, 그 이후로 SiC는 필수적인 전자 재료로 여겨지게 되었습니다.
1958년 학술 교류를 위해 첫 번째 세계 실리콘 카바이드 학술대회가 보스턴에서 개최되었습니다.
1978 1960년대와 1970년대에 실리콘 카바이드는 주로 구소련에서 연구되었습니다. 1978년까지 “LELY 개량 기술”의 곡물 정제 방법이 처음으로 채택되었습니다.
1987년부터 현재까지, CREE의 연구 성과를 바탕으로 실리콘 카바이드 생산 라인이 구축되었고, 공급업체들은 상업용 실리콘 카바이드 기판을 공급하기 시작했습니다.